• Saturn Plus: 一体式等离子处理系统

  • 是面向各类线路板客户使用需求设计的自动化等离子处理设备,适用于等离子焦渣去除、表面清洁活化、粗化等多种应用。


Saturn Plus 标准技术规格
设备尺寸宽*深*高1593W x 1592D x 2040H mm -- 2445H mm 带信号灯高度
腔体尺寸1180W x 1340D x 950H mm
容积1500L
电极电极尺寸1140D x 686H mm; 45D x 27H inch
处理单元数量15
射频系统射频功率及频率10kW/40kHz
气体控制气路配置标配两路/最多可扩充至5路气体
真空泵标准配置2000m³/h 罗茨泵 + 270m³/h干泵
干泵吹扫氮气流量5-25L/min
厂务要求供电要求380V, 50A, 50Hz, 3-Phase,  6AWG, 5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~30 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力15-30 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF40
冷却水流量60L/min
环境温度15~30℃
相对湿度40~60%