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  • Saturn:等离子处理系统

  • 是面向SMT与模组组装行业,提供等离子清洁与表面活化方案。


Saturn 标准技术规格
设备尺寸宽*深*高1301W x 1477D x 2080H mm -- 2485H mm 带信号灯高度
腔体尺寸800W x 863D x 800H mm
容积537L
电极电极尺寸760W x 680D mm; 29.9W x 26.8D inch
处理单元数量12
射频系统射频功率及频率5kW/40kHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至5路气体
真空泵标准配置500m³/h 罗茨泵 + 80m³/h干泵
干泵吹扫氮气流量5-25L/min
厂务要求供电要求380V, 50A, 50Hz, 3-Phase, 5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~30 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力15-30 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA、60-90psig
排气口接口及尺寸KF40
冷却水流量16L/min
环境温度15~30℃
相对湿度40~60%