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  • Saturn:一体式等离子处理系统

  • 面向各类线路板客户使用需求设计的自动化等离子体处理设备,适用于等离子焦渣去除、表面清洁活化、粗化等多种应用。


Saturn 标准技术规格
设备尺寸宽*深*高1181W x 1377D x 1813H mm -- 2218H mm 带信号灯高度
腔体尺寸800W x 920D x 950H mm
容积700L
电极电极尺寸752W x 800D mm; 29.6W x 31.5D inch
处理单元数量15
射频系统射频功率及频率5kW/40kHz
气体控制气路配置标配3路 / 最多可扩充至5路气体
真空泵标准配置500m³/h干泵泵组
干泵吹扫氮气流量5-25L/min
厂务要求供电要求380V, 50A, 50Hz, 3-Phase, 5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~30 psig(0.1-0.2MPa)
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=98%
吹扫气体压力30-60psig(0.2-0.4MPa)
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA、60-90psig(0.4-0.6MPa)
排气口接口及尺寸KF40
冷却水流量60L/min
环境温度15~30℃
相对湿度40~60%