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  • Hestia:全自动等离子处理系统
  • 是面向工业级客户使用需求设计的自动化等离子处理设备, 适用于等离子清洗、活化以及等多种应用。


Hestia  标准技术规格
设备尺寸宽*深*高1550W x 1230D x 1760H mm -- 2050H mm 带信号灯高度
腔体容积5L
电极电极尺寸334W x 334D mm
射频系统射频功率及频率500W/13.56MHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至4路气体
真空泵标准配置28m³/h干泵
干泵吹扫氮气流量5-25L/min
厂务要求供电要求220V, 25A, 50Hz, Single-Phase, 9AWG ,5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~20 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力10-60 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF25
环境温度5~40℃
相对湿度40~60%