160.png
  • Triton160:一体式等离子处理系统设备

  • 面向大半导体市场工业级客户与研发型客户使用需求设计的范用型等离子处理设备,适用于等离子清洗、活化以及刻蚀等多种应用。设备可在严苛环境下稳定运行,获得高度均一化的处理效果。


Triton160 标准技术规格
设备尺寸宽*深*高700W x 1200D x 1810H mm -- 2215H mm 带信号灯高度
腔体尺寸518W x 648D x 518H mm
容积173L
最大电极数量8
电极间距57mm
电极功率电极尺寸405W x 450D mm
接地电极尺寸477W x 450D mm
射频系统射频功率及频率1250W/13.56MHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至5路气体
真空泵标准配置65m³/h油泵 / 80m³/h干泵(可选)
5-25L/min
干泵冷却水流量3~7L/min
厂务要求供电要求380V, 16A, 50Hz, 3-Phase,  11AWG, 5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~20 psig
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力10-60 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF40
环境温度5~40℃
相对湿度40~60%