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  • Triton 40:桌面型多功能等离子设备

  • 是针对研发、试产需求设计的桌面型多功能等离子处理系统。其紧凑可靠的设计可在真空腔室内产生密集、均匀的等离子体,适用于等离子表面处理、表面刻蚀以及其它多种工艺应用。


Triton40 标准技术规格
设备尺寸宽*深*高635W x 860D x 690H mm
腔体尺寸340W x 456D x 280H mm
容积43L
最大电极数量8
电极间距57mm
电极功率电极尺寸226W x 320D mm
接地电极尺寸1300W x 320D mm
射频系统射频功率及频率300W/13.56MHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至4路气体
真空泵标准配置25m³/h 油泵
厂务要求供电要求220V, 10A, 50Hz, Single-Phase, 13AWG, 3-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~20 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力15-60 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF25
环境温度5~40℃
相对湿度40~60%