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  • Patron:等离子体纳米涂层设备

  • 面向工业级客户使用需求设计的有机物等离子气相沉积系统,适用于各种基材表面的低温有机功能材料的纳米涂层,如防水/防腐蚀涂层,金属-塑封料结合力促进涂层等。


Patron 标准技术规格
设备尺寸宽*深*高1152W x 1208D x 1833H mm -- 2238H mm 带信号灯高度
腔体尺寸518W x 648D x 518H mm
容积173L
最大电极数量8
电极间距57mm
电极功率电极尺寸405W x 450D mm
接地电极尺寸477W x 450D mm
射频系统射频功率及频率1250W/13.56MHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至5路气体
真空泵标准配置500m³/h 油泵泵组 / 500m³/h 干泵泵组(可选)
干泵吹扫氮气流量5-25L/min
干泵冷却水流量3~7L/min
厂务要求供电要求380V, 25A, 50Hz, 3-Phase, 9AWG, 5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~30 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力15-30 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF40
环境温度15~30℃
相对湿度40~60%